Infraroodverwarming voor de halfgeleiderindustrie

Met de voortdurende ontwikkeling van de technologie is de infraroodverwarmingstechnologie geleidelijk in het middelpunt van de aandacht van de mensen gekomen.en andere velden vanwege de voordelen van hoge efficiëntie, milieubescherming en veiligheid.

Het principe en de kenmerken van infraroodverwarming:

Infraroodverwarmingstechnologie maakt gebruik van de eigenschappen van halfgeleidermaterialen die infraroodlicht absorberen en omzetten in warmte om verwarming van doelobjecten te bereiken.Het basisprincipe is dat wanneer halfgeleidermaterialen infrarood licht absorberen, elektronen overgaan van de valentieband naar de geleidingsband, vormen een elektrische stroom en genereren warmte. Deze warmte zorgt ervoor dat de temperatuur van het doel voorwerp stijgt,het bereiken van een verwarmingseffect.

Infraroodverwarming heeft de volgende kenmerken:

● Efficiëntie: Vanwege de hoge energie van infraroodlicht kunnen halfgeleidermaterialen het efficiënt omzetten in warmte, waardoor snel verwarming wordt bereikt.

● Milieuvriendelijk: Infraroodverwarming produceert geen schadelijke stoffen tijdens het gebruik en veroorzaakt geen geluidsvervuiling.

● Veiligheid: Omdat infraroodverwarming puur weerstandsverwarming is, gaat er geen stroom door het halfgeleidermateriaal zelf, waardoor de veiligheid hoog is.

● Breed toepasbaarheid: Infraroodverwarmingstoestellen hebben een klein volume, zijn gemakkelijk te installeren en zijn geschikt voor objecten van verschillende vormen en maten.

De toepassing van infraroodverwarmingstechnologie

1. Waferverwarmingsapparaat

Siliciumwafers zijn een belangrijk halfgeleidermateriaal dat veel wordt gebruikt op gebieden zoals de productie van schakelingen en zonnepanelen.die organische stoffen en bubbels kan verwijderen, activeren van materialen, aanpassen van vormen, verbeteren van materiaalstructuren, enz., waardoor de oppervlakte zuiverheid en kwaliteit van siliciumwafers worden gewaarborgd,Het is de bedoeling van de Commissie dat de Europese Unie in het kader van haar programma's voor de ontwikkeling van de Europese Unie de nodige inspanningen levert om de ontwikkeling van het milieu te bevorderen.Door gebruik te maken van infraroodstraling (IR) om dichte warmte te genereren, kan de temperatuur van de wafer nauwkeurig worden gemeten door een infrarood pyrometer.

Het volgende diagram is een type RTP-systeem. In het RTP-systeem worden de lichten aan de bovenkant en onderkant verticaal geplaatst om de wafer gelijkmatig te verwarmen met infraroodstraling.De wafertemperatuur wordt gemonitord door een pyrometer en vervolgens gecontroleerd door energiefeedback van wolfraamhalogeenlampenHet verwarmde oppervlak ontvangt de gemiddelde stralingsenergie van de rode lijn, waardoor de ongunstige kwaliteitsproblemen van het proces die worden veroorzaakt door ongelijke temperatuur, effectief worden verminderd.

2. Vacuümherstroomsoldeeroven

Een vacuümherstroomoven is een proces van hoogwaardig lassen van producten in een vacuümomgeving, dat wordt gebruikt om de producten en soldeer tegen oxidatie te beschermen onder vacuümomstandigheden.Tegelijkertijd, reageert het met de oxide op het oppervlak van de producten en de soldeer om de kwaliteit van het lasoppervlak te verbeteren en de porositeit van het laswerk te verminderen.Algemeen gebruikt in hoogprecisieproducten zoals lucht- en ruimtevaartDe vacuümkamer is uitgerust met een ingebouwd verwarmingssysteem dat het principe van infraroodverwarming hanteert.ultralage temperatuur veilig lassen, geen temperatuurverschil, geen oververhitting, betrouwbare en stabiele procesparameters, geen behoefte aan complexe procestests en lage milieukosten.kleine partijen, en een hoge betrouwbaarheid van het lassen van militaire producten.

3. vacuümelektroplatingovens

Een vacuümelektroplatingoven is een apparaat dat wordt gebruikt voor het elektroplateren van het oppervlak van metalen of andere materialen.het verbeteren van de kwaliteit en duurzaamheid van de galvanische laagDe temperatuurregeling is een cruciale stap bij het bedienen van een vacuümelektroplatingoven.Door gebruik te maken van de eigenschappen van infraroodverwarming, kan een nauwkeurige temperatuurregeling en het waarborgen van temperatuuruniformiteit de kwaliteit en duurzaamheid van de galvaniseringslaag effectief verbeteren,met een breedte van niet meer dan 50 mm,Tegelijkertijd kan het ook de veiligheid en stabiliteit van het galvaniseringsproces waarborgen.